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​型号简介
MODEL INTRODUCTION

超声波扫描显微镜

          LXY-SAM01 超声波扫描显微镜是安全无损检测工具，借高频超声波信号穿透产品内部，经回波信号处理生成内部图像，能检测空洞、分层等缺陷，广泛用于新能源、半导体等行业。其采用最新研发的滤波器与前置放大器，图像分辨率达230MHz，最高5um；运用先进高速线性马达驱动电机，重复精度±0.5μm，扫描速度1000mm / 秒。

System Features
SYSTEM CHARACTERISTICS

Introduction

1.高自研软硬件能力
能依客户需求订委机台所需大小(依产品及空间规划)，软件也可依据客户需求特性开发及对接。
2.高速、稳定的马达设计
扫描轴采用最先进的线性伺服马达，提 供高速、稳定、无磨损的扫描。
3.PETT技术
反射及透射同时扫描，有效提高元器件分析效率。

设备规格

1.可编程扫描，自动分析
样品置于不平的情况下，自动跟踪平面，获取同一层面图片。
2.FSF 表面跟踪线
扫描轴采用最先进的线性伺服马达，提 供高速、稳定、无磨损的扫描。
3.ICEBERG离线分析
存储资料后，可在个人计算机上进行再次分析
4.TAMI断层显微成象扫描
无需精确选择波形，可任意设定扫描深度及等分厚度，
一次扫描可获得200 张图片,最快速完成分析。

主要技术参数及规格

设备尺寸:L*W*H=1150*1040*1500(mm)重量:约800kg​

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