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PRODUCTS
公司产品
RIE / ICP/ IBE刻蚀机系列
RIE/ICP/IBE Etching Machine Series
扫描机系列
Scanner series
挑选机系列
Selection machine series
超声波扫描显微镜
LXY-SAM01 超声波扫描显微镜是安全无损检测工具，借高频超声波信号穿透产品内部，经回波信号处理生成内部图像，能检测空洞、分层等缺陷，广泛用于新能源、半导体等行业。
LED芯片分选机
本设备以回转 PPX 马达带动两取 / 固晶臂，在顶针顶出系统辅助下，用固晶臂吸嘴取 WAFER 蓝膜上垂直摆放的 LED 晶粒，送至 BIN 盘蓝膜重排。
ICP-RIE 3500M1
ICP3500M1 单舱感应耦合等离子体刻蚀机具有稳定可靠的工艺性能、宽阔的工艺窗口和良好的工艺兼容性，主要用于6/8寸 晶片的多功能刻蚀。
SiC/GaN/Si 特色沟槽刻蚀工艺平台
ALD Infinity C200P
针对 MicroLED, 太阳能电池，量子点，OLED表面纯化及隔水封装 及碳化硅的栅极氧化层。
IBE离子束刻蚀设备
IBE离子束刻蚀是一种利用高能离子束对样品表面进行物理 溅射去除材料，从而实现精细刻蚀结构制造的技术。
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