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型号简介
MODEL INTRODUCTION
性能描述
SYSTEM CHARACTERISTICS
LED芯片分选机
产品优势
本设备以回转PPX马达带动两取/固晶臂,在顶针顶出系统辅助下,用固晶臂吸嘴取WAFER蓝膜上垂直摆放的LED晶粒,送至 BIN盘蓝膜重排。依前段点测机的WAFER晶圆MAP图,按测试参数对晶粒分类。设备具自动上下料机构,支持自动更换WAFER 盘与 BIN盘。
三点对位简便;卡匣配置灵活;自研运动控制系统;优化路径规划算法;硬件支持自动线升级;有自主图像处理技术;软着陆减芯片冲击;吸嘴、顶针高度自动测量与智能调整。
主要技术特点
Wafer夹具兼容4寸、6寸的产品
Wafer 夹具兼容 4、6 寸产品及专用夹具;夹具模块化设计,更换快捷,预计 1h / 台;制程参数切换迅速。

7 Bin Cassette 和 8 Bin Cassette结构可选

防静电措施
离子风机配置
设备的防静电措施:
正常生产时 ,Wafer端、 BIN端启动等离子风,消除取固晶时静电;
设备机台的静电防护,接地线,消除设备机台的静电。

开启离子风消除取晶粒时的静电
静电除电规格
设置距离一除电时间特性
(+1000V→+100V的除电时间)

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